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中國(guó) 輪廓儀 A1535172 傳感器原理:觸針式,差動(dòng)電感。傳感器觸針半徑:25μm傳感器觸針測(cè)力:<30mN量程:±0.625mm/±2.5mm/±10mm最高分辨率:0.3μm驅(qū)動(dòng)箱的有效行程… 洽詢(xún) 226666
中國(guó) 光電輪廓儀 A1532085 表面微觀不平深度測(cè)量范圍:130?1nm測(cè)量的重復(fù)性:sRa≤0.5nm測(cè)量精度:8nm物鏡倍率:40X數(shù)值孔徑:0.65儀器視場(chǎng)目視:f0.25mm攝象:0.13X0.13mm儀… 洽詢(xún) 122500
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