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產(chǎn)品目錄

廠商名稱	產(chǎn)品名稱	產(chǎn)品訂貨號	貨期（周）	產(chǎn)品價格
美國AGILENT	半導體器件分析儀	A903897	洽詢	洽詢

產(chǎn)品特點

半導體器件分析儀是一款具有 10 插槽配置的模塊化儀器，可支持 IV 和 CV 測量及快速高電壓脈

沖測量。它采用常見的 Microsoft ® Windows ® 用戶界面，可支持 Agilent EasyEXPERT 軟

件。該軟件為器件表征提供更直觀的、面向任務(wù)的新方法。Agilent B1500A 具有極佳的低電流、

低電壓和集成電容測量能力，因此可滿足廣泛的半導體器件表征需求（IC-CAP 支持）。它還是一

款用于非易失存儲單元表征和高速器件表征（包括先進 NBTI 和 RTS 噪聲（RTN）測量）的出色

解決方案。

應(yīng)用主題

現(xiàn)已提供有關(guān)太陽能電池表征的新應(yīng)用指南和示例程序。

模塊信息

它支持 3 類 SMU 和 ASU，以執(zhí)行超精密測量。有關(guān) SMU 的更多信息，請參見本頁的模塊選型

指南。

它（HV-SPGU：高電壓――半導體脈沖發(fā)生器單元）模塊可提高閃存測試的吞吐量。

（WGFMU：波形發(fā)生器和快速測量單元）模塊可幫助您執(zhí)行以前無法進行的關(guān)鍵脈沖測量。

提供各種脈沖解決方案。最新的安捷倫選型指南可幫助您選擇最適合您應(yīng)用的解決方案。更多信

息，請訪問安捷倫脈沖 IV 參數(shù)測試解決方案頁面。 EasyEXPERT 和 Desktop EasyEXPERT

不但可以幫助您提高測量效率，而且還可提供易于使用的測試環(huán)境。更多信息，請訪問

EasyEXPERT 頁面。

安捷倫低泄漏開關(guān)矩陣系列能夠靈活地生成自動化測量解決方案，而不會影響測量性能。更多信

息，請訪問開關(guān)矩陣系列頁面。

特性和優(yōu)勢

優(yōu)異的 IV 測量性能：0.1 fA / 0.5 µV 測量分辨率

- 測量特性包括單通道和多通道掃描、時間采樣、列表掃描、準靜態(tài) CV（使用 SMU）、直接控制

和針對 HV-SPGU 的任意線性波形生成（ALWG）GUI。

可選的集成電容模塊支持高達 5 MHz 的 CV 測量

基于定位器的可選 CV-IV 開關(guān)解決方案提供 0.5 µV 的電壓測量分辨率和 10 fA、1 fA 或 0.1

fA 的電流測量分辨率能力

使用內(nèi)置半自動晶圓探頭驅(qū)動程序可輕松自動完成測試；在快速測試模式下，用戶無需編程即可排

列測試順序

可選的高電壓半導體脈沖發(fā)生器單元（HV-SPGU）具有 10 ns 的可編程脈沖寬度和 +/- 40 V

（80 V 峰峰值）輸出

可選的波形發(fā)生器/快速測量單元（WGFMU）提供 ALWG 和快速電流或電壓測量能力

10 ns 脈沖 IV 解決方案，用于表征高 k 柵極電介質(zhì)和 SOI（絕緣硅）晶體管

典型測試模式可提供 4155/4156 界面的外觀、風格和術(shù)語，同時通過充分利用 Microsoft ®

Windows ® GUI 特性可加強用戶交互

技術(shù)指標

一般特性

基于 PC 的儀器，具有 Windows ® XP Professional 操作系統(tǒng)

針對電流－電壓（IV）、電容－電壓（CV）、脈沖生成、快速 IV和時域測量的綜合解決方案。

用于電源監(jiān)測單元（SMU）和其他模塊類型（MFCMU、HV-SPGU 和 WGFMU）的 10 個模塊插

槽

通過 Desktop EasyEXPERT 軟件進行離線數(shù)據(jù)分析和應(yīng)用測試開發(fā)

測量能力

支持 0.1fA 和 0.5µV 電流－電壓（IV）測量

支持準靜態(tài)和中頻電容－電壓（CV）測量

支持精確的快速 IV 和時域測量，適用于各種應(yīng)用，例如脈沖 IV、NBTI 和 RTS 噪聲（RTN）測
量。

支持用于大功率和存儲器測試的高電壓脈沖生成（高達 ±40 V）功能。

測量特性

物理特性

可選附件

持有證書

備注

產(chǎn)品規(guī)格列表

產(chǎn)品訂貨號	產(chǎn)品介紹	符合標準	最小訂量	價格	貨期	備注
A903897	半導體器件分析儀：一般特性：基于 PC 的儀器，具有 Windows ® XP Professional 操作系統(tǒng)；針對電流－電壓（IV）、電容－電壓（CV）、脈沖生成、快速 IV和時域測量的綜合解決方案；用于電源監(jiān)測單元（SMU）和其他模塊類型（MFCMU、HV-SPGU 和 WGFMU）的 10 個模塊插槽；通過 Desktop EasyEXPERT 軟件進行離線數(shù)據(jù)分析和應(yīng)用測試開發(fā)；測量能力：支持 0.1fA 和 0.5µV 電流－電壓（IV）測量；支持準靜態(tài)和中頻電容－電壓（CV）測量；支持精確的快速 IV 和時域測量，適用于各種應(yīng)用，例如脈沖 IV、NBTI 和 RTS 噪聲（RTN）測量；支持用于大功率和存儲器測試的高電壓脈沖生成（高達 ±40 V）功能，；品牌：美國AGILENT		1	洽詢	洽詢	備注
A903898	高達 200 V、1 A，10 fA 電流分辨率；所需插槽數(shù)2，；品牌：美國AGILENT		1	洽詢	洽詢	備注
A903899	高達 100 V、100 mA，10 fA 電流分辨率，所需插槽數(shù)1，；品牌：美國AGILENT		1	洽詢	洽詢	備注
A903900	高達 100 V、100 mA，1 fA 電流分辨率，所需插槽數(shù)1，；品牌：美國AGILENT		1	洽詢	洽詢	備注
A903901	高達 100 V、100 mA，100 aA 當前分辨率，；品牌：美國AGILENT		1	洽詢	洽詢	備注
A903902	1 kHz 至 5 MHz，高達 100 V 直流偏置，具有 SMU，所需插槽數(shù)1，；品牌：美國AGILENT		1	洽詢	洽詢	備注
A903903	最小 12.5 ns 脈沖寬度，10 ns 跳變時間、高達 40 V 和 3 級脈沖，所需插槽數(shù)1，；品牌：美國AGILENT		1	洽詢	洽詢	備注
A903904	最小 100 ns 脈沖寬度、10 V 峰峰值輸出、5 ns 電流或大于測量采樣速率，所需插槽數(shù) 1，；品牌：美國AGILENT		1	洽詢	洽詢	備注