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產(chǎn)品目錄
| 廠商名稱(chēng) | 產(chǎn)品名稱(chēng) | 產(chǎn)品訂貨號(hào) | 貨期（周） | 產(chǎn)品價(jià)格 |
|---|---|---|---|---|
| 中國(guó) | 白光干涉儀器 | A631741 | 洽詢(xún) | 洽詢(xún) |
產(chǎn)品特點(diǎn)
產(chǎn)品特點(diǎn)及用途
結(jié)合光學(xué)顯微鏡與白光干涉儀功能的掃描式白光干涉顯微鏡，結(jié)合顯微物鏡與干涉儀、不需要復(fù)雜光調(diào)整程序，兼顧
體積小、納米分辨率、易學(xué)易用等優(yōu)點(diǎn)，可提供垂直掃描高度達(dá)400um的微三維測(cè)量，適合各種材料與微組件表面特征
和微尺寸檢測(cè)。應(yīng)用領(lǐng)域包含
晶體（Wafer）
光盤(pán)/硬蝶（DVD Disk/Hard Disk））
平面電組件（MEMS Components）
平面液晶顯示器（LCD）
高密度線路印刷電路板（HDI PCB））
IC封裝（IC Package））
以上其它材料分析與組件微表面研究
專(zhuān)業(yè)級(jí)的3D圖形處理與分析軟體（Post Topo）
提供多功能又具親和接口的3D圖形處理與分析
提供自動(dòng)表面平整化處理功能
提供高階標(biāo)準(zhǔn)片的軟件自校功能
深度/高度分析功能提供線型分析與區(qū)域分析等兩種方式
線型分析方式提供直接追溯ISO定義的表面粗糙度（Rorghness）與起伏度
（waviness）的測(cè)量分析�？商峁┒噙_(dá)17種的ISO量測(cè)參數(shù)與4種額外量測(cè)數(shù)據(jù)（Wafer）
區(qū)域分析方式提供圖形分析與統(tǒng)計(jì)分析。
具有平滑化、銳化與數(shù)字過(guò)濾波等多種二維快速利葉轉(zhuǎn)換（FFT）處理功能。
量測(cè)分析結(jié)果以BMP等多種圖形檔案格式輸出或是Excel文本文件格式輸出
專(zhuān)業(yè)級(jí)的3D圖形處理與分析軟體（Post Topo）
系統(tǒng)硬件搭配ImgScan前處理軟件自動(dòng)解析白光干涉條紋
垂直高度可達(dá)0.1nm
高度的分析算法則，讓你不在苦候測(cè)量結(jié)果
垂直掃描范圍的設(shè)定輕松又容易
有10X、20X、50X倍率的物鏡可供選擇
平臺(tái)XYZ位置數(shù)顯示，使檢標(biāo)的尋找快速又便利
具有手動(dòng)/自動(dòng)光強(qiáng)度調(diào)整功能以取得最佳的干涉條紋對(duì)比。
具有高精度的PVSI與高速VSI掃描測(cè)量模式供選擇。
具有解析算法則可處理半透明物體的3D形貌。
具有自動(dòng)布補(bǔ)點(diǎn)功能
可自行設(shè)定掃描方向
結(jié)合光學(xué)顯微鏡與白光干涉儀功能的掃描式白光干涉顯微鏡，結(jié)合顯微物鏡與干涉儀、不需要復(fù)雜光調(diào)整程序，兼顧
體積小、納米分辨率、易學(xué)易用等優(yōu)點(diǎn)，可提供垂直掃描高度達(dá)400um的微三維測(cè)量，適合各種材料與微組件表面特征
和微尺寸檢測(cè)。應(yīng)用領(lǐng)域包含
晶體（Wafer）
光盤(pán)/硬蝶（DVD Disk/Hard Disk））
平面電組件（MEMS Components）
平面液晶顯示器（LCD）
高密度線路印刷電路板（HDI PCB））
IC封裝（IC Package））
以上其它材料分析與組件微表面研究
專(zhuān)業(yè)級(jí)的3D圖形處理與分析軟體（Post Topo）
提供多功能又具親和接口的3D圖形處理與分析
提供自動(dòng)表面平整化處理功能
提供高階標(biāo)準(zhǔn)片的軟件自校功能
深度/高度分析功能提供線型分析與區(qū)域分析等兩種方式
線型分析方式提供直接追溯ISO定義的表面粗糙度（Rorghness）與起伏度
（waviness）的測(cè)量分析�？商峁┒噙_(dá)17種的ISO量測(cè)參數(shù)與4種額外量測(cè)數(shù)據(jù)（Wafer）
區(qū)域分析方式提供圖形分析與統(tǒng)計(jì)分析。
具有平滑化、銳化與數(shù)字過(guò)濾波等多種二維快速利葉轉(zhuǎn)換（FFT）處理功能。
量測(cè)分析結(jié)果以BMP等多種圖形檔案格式輸出或是Excel文本文件格式輸出
專(zhuān)業(yè)級(jí)的3D圖形處理與分析軟體（Post Topo）
系統(tǒng)硬件搭配ImgScan前處理軟件自動(dòng)解析白光干涉條紋
垂直高度可達(dá)0.1nm
高度的分析算法則，讓你不在苦候測(cè)量結(jié)果
垂直掃描范圍的設(shè)定輕松又容易
有10X、20X、50X倍率的物鏡可供選擇
平臺(tái)XYZ位置數(shù)顯示，使檢標(biāo)的尋找快速又便利
具有手動(dòng)/自動(dòng)光強(qiáng)度調(diào)整功能以取得最佳的干涉條紋對(duì)比。
具有高精度的PVSI與高速VSI掃描測(cè)量模式供選擇。
具有解析算法則可處理半透明物體的3D形貌。
具有自動(dòng)布補(bǔ)點(diǎn)功能
可自行設(shè)定掃描方向
技術(shù)指標(biāo)
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系統(tǒng)配備 |
顯微鏡、掃描控制器、移動(dòng)平臺(tái)、取像單元、個(gè)人電腦 | |||||
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顯微鏡 |
單眼顯微鏡(標(biāo)準(zhǔn)配件) | |||||
|
干涉物鏡(選配) |
放大率 |
10X 20X 50 | ||||
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視野( mm) |
0.5 0.25 0.1 | |||||
|
光學(xué)解析度(mm) |
1.12 0.84 0.61 | |||||
|
影像縮放 |
1.0X(標(biāo)配) 0.5X（選配） | |||||
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垂直掃描控制器 |
掃描范圍 |
100um 400um | ||||
|
掃描解析度 |
0.1nm | |||||
|
掃描模式 |
自動(dòng) | |||||
|
光強(qiáng)度調(diào)整 |
自動(dòng)/手動(dòng) | |||||
|
掃描速度 |
12nm/s | |||||
|
樣品移動(dòng)平臺(tái) |
X、Y平面移動(dòng)平面 |
150mm*100mm,手動(dòng)(標(biāo)準(zhǔn)配件) | ||||
|
Z軸移動(dòng)平臺(tái) |
80mm,手動(dòng)(標(biāo)準(zhǔn)配件) | |||||
|
位置數(shù)位顯示單元 |
三軸光學(xué)尺與三軸數(shù)位顯示器(解析度 1um) | |||||
|
偏移調(diào)整平臺(tái) |
手動(dòng) | |||||
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取像單元 |
影像感測(cè)量 |
面型CCD(標(biāo)準(zhǔn)配件) | ||||
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感測(cè)器解析度 |
640*480(標(biāo)準(zhǔn)配件) | |||||
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電腦配置 |
Pentium-Computer ,17"LCD Monitor,120G以上硬盤(pán) | |||||
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分析軟體 |
MS-Windows相容的資料擷取與分析軟體 包含ISO粗糙度/階高分析，快速薄利葉轉(zhuǎn)換和濾波，多樣的2D和3D觀測(cè)視角圖，外形分析，圖像縮放，標(biāo)準(zhǔn)影像檔案格式轉(zhuǎn)換等等 | |||||
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階高標(biāo)準(zhǔn)片(選配) |
50nm |
170nm |
230nm |
470nm |
1800nm | |
測(cè)量特性
物理特性
可選附件
持有證書(shū)
備注
產(chǎn)品規(guī)格列表
| 產(chǎn)品訂貨號(hào) | 產(chǎn)品介紹 | 符合標(biāo)準(zhǔn) | 最小訂量 | 價(jià)格 | 貨期 | 備注 |
| A631741 | 白光干涉儀器，；品牌：中國(guó) | 1 | 洽詢(xún) | 洽詢(xún) | 備注 |
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